青青草网站导航青青草a免费线观a分类 UPS青青草网站导航 | EPS青青草网站导航 | 稳压青青草网站导航 | 变频青青草网站导航 | 净化青青草网站导航 | 特种青青草网站导航 | 发电机组 | 开关青青草网站导航 | 逆变青青草网站导航 | 模块青青草网站导航 | LED青青草网站导航 | (蓄)电池 | 其他青青草网站导航青青草a免费线观a
青青草网站导航应用分类 通信青青草网站导航 | 电力青青草网站导航 | 车载青青草网站导航 | 军工青青草网站导航 | 航天青青草网站导航 | 工控青青草网站导航 | PC青青草网站导航 | 电镀青青草网站导航 | 焊接青青草网站导航 | 加热青青草网站导航 | 医疗青青草网站导航 | 家电青青草网站导航 | 励磁青青草网站导航 | 便携青青草网站导航
                             充电机(器) | 其他应用分类
青青草网站导航配套分类 功率器件 | 防雷浪涌 | 测试仪器 | 电磁兼容 | 青青草网站导航IC | 电池检测 | 变压器 | 轴流风机 | 电子元件 | 散热器 | 电解电容 | PCB/辅助材料 | 连接/传感器
                              其他青青草网站导航配套
新能源分类      太阳能(光伏发电) | 风能发电 | 潮汐发电 | 水利发电 | 燃料电池 | 其它新能源
您的位置:青青草网站导航在线首页>>青青草a免费线观a中心>>其他类>>其他>>连续磁控溅射镀膜生产线青青草a免费线观a详情

连续磁控溅射镀膜生产线

点击查看原图
公司名称:广东志成冠军集团有限公司
所属类别:其他类>>其他
电子信箱:wei8@vip.163.com
联系电话:0769-87725486
联 系 人:魏永杰
更新时间:2020/5/8 14:12:04
 
青青草a免费线观a详情

 CP-PVD系列磁控溅射镀膜设备采用先进的in-line产线结构,Twin-Mag孪生阴极磁控溅射技术,并配以全自动控制系统、先进的真空系统,可在玻璃衬底上镀制SiO2、ITO、AZO、Al、Ni、Ti等各类绝缘介质薄膜、金属或合金薄膜,并可连续溅镀多种不同材质的薄膜构成复合多膜层结构,适合大规模光学、电学薄膜的生产,做到一机多用,填补了国内空白。
      CP-PVD系列磁控溅射镀膜设备是由广东志成冠军集团与华中科技大学机械科学与工程学院、东莞华中科技大学制造工程研究院根据连续溅镀薄膜功能材料的要求联合自主研发而成,具有高能效、高可靠性、低成本的优势。
      本青青草a免费线观a可广泛应用于触摸屏ITO镀膜、LCD显示屏ITO镀膜、薄膜太阳能电池背电极及AZO镀膜、彩色滤光片镀膜、电磁屏蔽玻璃镀膜、AR镀膜、装饰镀膜等产业领域。


技术特点:
(一)青青草a免费线观a结构特点
      1)in-line多腔体模块化结构,镀膜室、进出片室缓冲隔离处理。
      2)防颗粒立式腔体、小角度倾斜腔体或高稳定性卧式腔体,双端进出,自动回架。
      3)孪生平面靶结构、圆柱靶,可进行双面溅镀。
      4)磁流体密封,草草社区最新地址真空稳定性极佳。
      5)磁导流、磁悬浮传动,运行过程平稳可靠。
      6)SUS304不锈钢腔体材料,内壁抛光放气率低,外壁抛光喷珠美观耐用。
      7)平移架气缸自动化平移,与自动平移实现同步连锁。
      8)真空室之间采用门阀—插板阀隔开,高效隔断,工艺气体波动最小化。
(二)C-Mag技术
      1)基于志成冠军“C-Mag”技术,靶材利用率比一般设备提高10%以上。
      2)基于志成冠军“C-Mag”技术,可使设备稼动率提高到90%以上。
(三)生产工艺特点
      1)RF或离子源预清洗设计,高度清洁基材表面,增强膜层附着力。
      2)DC溅射、MF溅射、RF溅射根据工艺需求可选。
      3)隔离式磁控溅射多靶位,SiO2、ITO等多层膜连续溅镀。
      4)膜层均匀性好,可控制在±3%以内。
      5)红外加热,分段PID温度控制,温度误差控制±3℃。
      6)变频调速,生产速率可控。
      7)人机界面,PC+PLC控制,生产过程全自动化,高稳定性、高重复性。
      8)偏压溅射:在基片上施加偏置电压,使基片位置相对接地(阳极),真空室处负电位,吸引部分离子加速流向基片,提高成膜轰击原子的能量,达到改变膜层性能的目的。可分为直流和脉冲偏压溅射。
      9)膜厚监控和沉积过程由计算机在线控制。
      10)膜厚监控和沉积速率由计算机在线控制。
      11)可选增加在线退火处理箱体。

 


技术参数:
      1)极限真空:6×10-4Pa
      2)生产节拍:40-120s/架(依赖于具体的生产工艺进行定制)
      3)基片尺寸:可定制,可实现同机溅射多种尺寸青青草a免费线观a的柔性化设计
      4)膜层均匀性:±3%
      5)加热温度:最大400℃

 

关于该条青青草a免费线观a信息,我有如下留言:
请您注意:
·遵守中华人民共和国的各项有关法律法规
·承担一切因您的行为而导致的法律责任
·本网留言板管理人员有权删除其管辖的留言内容
·您在本网的留言内容,本网有权在网站内转载或引用
·参与本留言即表明您已经阅读并接受上述条款
用户名: 密码: 匿名留言   免费注册青青草网站导航在线网会员,获取更多服务!立刻注册
免责声明:以上所展示的信息由会员自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责。青青草网站导航在线对此不承担任何保证责任。
企业商柜
关闭